来源：格隆汇

格隆汇9月6日丨天准科技(688003.SH)在互动平台表示，近日，天准科技参股的苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户试用，28nm节点检测设备正在研发中。