摘要：近日，zycgr发布多批政府采购意向，仪器信息网特对其中的仪器设备品目进行梳理，统计出9项仪器设备采购意向，预算总额达2.14亿元。
近日，zycgr发布9项仪器设备采购意向，预算总额达2.14亿元，涉及原子层沉积系统、立式化学气相沉积系统(CVD)、热/电子束蒸发设备、原子力显微镜、等离子体增强化学气相沉积系统、自动化抗体蛋白系统等，预计采购时间为2025年10~11月。
部分采购仪器简介
立式化学气相沉积系统(CVD)
立式化学气相沉积系统(Vertical Chemical Vapor Deposition System)是一种采用垂直布局设计的薄膜沉积设备，广泛应用于半导体制造、光电器件、太阳能电池和纳米材料等领域。立式CVD系统是通过气相化学反应在基材表面沉积薄膜材料的设备，其核心原理是通过高温或等离子体激活气态前驱体，使其在基片表面发生化学反应形成固态薄膜。区别于传统的水平式CVD系统，立式系统采用垂直布局设计，基片垂直放置于多层载具上，气流自上而下流动，这种设计能有效减少颗粒沉降对基片的污染。
原子层沉积系统
原子层沉积系统(Atomic Layer Deposition System)是一种基于原子层沉积技术的先进薄膜制备设备，能够在基底表面实现纳米级薄膜材料的精确沉积。原子层沉积(Atomic Layer Deposition, ALD)是一种基于表面自限制反应的薄膜沉积技术，其核心原理是通过交替脉冲通入气相前驱体，在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜。
等离子体增强化学气相沉积系统
等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)是一种先进的薄膜制备技术，广泛应用于半导体、光伏、显示面板等多个高科技领域。PECVD是一种利用等离子体辅助化学气相沉积技术制备薄膜材料的工艺试验仪器。该系统通过产生等离子体激活反应气体，实现在较低温度下沉积高质量薄膜。区别于传统的化学气相沉积(CVD)技术，PECVD通过使用等离子体来提高沉积效率，使其能在更低的温度条件下进行材料沉积。
详细采购清单：
Zycgr2025年10~11月仪器设备采购意向汇总表
采购 项目 | 需求概况 | 预算 万元 | 采购 时间 |
|---|---|---|---|
自动化抗体蛋白系统（一期） | 计划采购自动化抗体蛋白系统用于大规模产出高质量的抗原-抗体相互作用数据集。 该系统能够闭环完成抗体蛋白筛选项目和抗原抗体表征项目，涵盖抗体蛋白筛选、分子克隆、蛋白细胞制备、样本管理全流程，能实现抗原特异性B细胞筛选、噬菌体/酵母抗体库筛选、酵母DMS筛选、Elisa、亲和力检测、细胞功能活性检测、高通量细胞荧光成像、高通量DNA组装、mRNA制备和包封、抗原抗体库构建、哺乳动物细胞构建和培养、蛋白抗体表达纯化等所有主要抗体蛋白实验的自动化流程。 | 18720 | 2025年10月 |
小试实验装置、多塔吸附评价装置设备采购项目 | 采购一套装置，用于科研实验。 | 475 | 2025年11月 |
6000m耐压型多波束采购项目 | 本采购项目包括6000m耐压型多波束测深系统1套。主要包含水下接收发射换能器单元及附加或集成惯导和表层声速计1套，甲板单元1套；水下供电及存储器单元1套；安装支架及连接线缆1套。 | 190 | 2025年11月 |
原子层沉积系统 | 1. 腔体尺寸8英寸 2. 衬底加热温度：50-500 ℃ 3. 加热源柜：40-180 ℃ 4. 薄膜沉积均匀性：片内均匀性≤±2%，片间均匀性≤±2%。 | 280 | 2025年10月 |
立式化学气相沉积系统(CVD) | 1.立式结构，双层壳体结构，配有冷风系统自动降温； 2.极限真空度：10Pa 3.VRD-30 旋片泵抽速8L/S。 | 320 | 2025年10月 |
热/电子束蒸发设备 | 1. 腔体尺寸8英寸 2. 最低沉积速率≤0.1Å/s 3. 极限真空≤3×10-5 Pa 4. 薄膜沉积均匀性：片内/片间均匀性≤±3%。 | 250 | 2025年10月 |
原子力显微镜 | 1. YZ扫描范围：≥90μm×90μm×10μm 2. Z方向分辨率：≤0.03 nm 3. 噪声水平：≤0.3Å。 | 275 | 2025年10月 |
晶圆临时键合设备 | 1. 基板尺寸8英寸及向下兼容 2. 温度≤350℃，精度≤±1%，均匀性≤±1.2%或≤±2℃（取大者） 3. 键合压力20kN，控压精度≤±2%，压力均一性≤±3%或≤±40N（取大者）。 | 400 | 2025年10月 |
等离子体增强化学气相沉积系统 | 1.基板尺寸8英寸 2.温度350~450℃，精度≤±1%，均匀性≤±2% 3.极限真空≤1 Pa 4.气路不少于10路，沉积均匀性不超过2%。 | 500 | 2025年10月 |
注：政府采购项目的采购方代号以“平台前缀+行政区划+机构特征”为核心规律，中央平台统一使用zycgr，地方平台则结合省份缩写与机构代码。“行政区划+机构特征”通常为一串数字，用于区分不同采购人、项目或地区。
↓↓ 加入行业讨论群 ↓↓
| 转载：须本号授权，请联系主编
| 来源：仪器信息网
| 责编：安安
