芯片流片服务

1、180nm CMOS工艺工程批流片，金属层数不少于6层，掩膜层数不少于32层； 2、130nm CMOS工艺，一次工程批和4次MPW，其中2次MPW面积为5mmx5mm，两次MPW面积为5mmx8mm。

450

2025年3月

像素传感器芯片流片

定制满足项目需求的单片有源硅像素传感器芯片。

180

2025年8月

芯片流片服务

将设计完成的专用集成电路芯片进行流片加工，形成质量达标的芯片晶圆。

150

2025年11月

光束线前端

计划采购光束线前端10套，光束线前端是同步辐射光束线与储存环之间连接的桥梁。

1820

2025年3月

光栅单色器

单色器是同步辐射光束线的核心分光原件，它接收来自于同步辐射光源的辐射，通过光栅衍射效应，将入射复色光单色化之后继续向光束线下游传输。计划采购BL04、BL06和BL10光束线使用的平面光栅单色器3套。

630

2025年3月

单镜镜箱

镜箱是同步辐射光束线的核心部件之一，主要用于安装各类发射光学元件，提供光学元件工作需要的精密姿态调节、高稳定性和超高真空环境。计划采购9套单镜镜箱用于BL04/06/08/10四条光束线。

952

2025年3月

双镜镜箱

双镜镜箱是同步辐射光束线的核心部件之一，通过两组反射镜实现KB聚焦或光路方向调整的作用。计划采购3套双镜镜箱，分别用于合肥先进光源BL04和BL08两线站。

679

2025年3月

光束线光位置探测器

光束线光位置探测器主要包括各类四刀PBPM和丝扫描PBPM，它们通过刀片或金属丝的光电效应，探测同步光位置变化。计划采购光束线光位置探测器22套，用于BL01~BL06、BL08和BL10八条光束线。

511

2025年5月

光束线光阑、狭缝与荧光靶

光束线光阑、狭缝与荧光靶是光束线上限制光学孔径、提供二次光源点和光斑形状位置监测的重要部件。计划采购光阑、狭缝与荧光靶共60套，分别用于BL04/06/08/10四条光束线。

1120

2025年6月

光束线真空腔与管道

光束线真空腔与管道是光束线上安装真空泵、真空阀门和进行真空部件连接的重要部件。计划采购4套，分别用于BL04/06/08/10四条光束线。

504

2025年6月

溅射离子泵

用作10条光束线真空系统的主泵，抽气速率300L/s。

186

2025年6月

复合离子泵

用作BL02、BL05、BL08实验站真空系统的主泵，抽气速率300L/s。

237

2025年7月

分子泵

用作10条光束线真空系统的主泵及真空预抽，抽速300L/s。

420

2025年7月

干泵

用作BL01、BL02、BL03、BL05、BL06、BL07、BL08、BL09光束线及实验站真空系统的前级泵，极限真空1E-2mbar。

284

2025年7月

非蒸散型吸附剂泵

用作BL02、BL03实验站真空系统的主泵，抽速500L/s。

390

2025年7月

真空阀门

用作10条光束线站真空系统的子真空段的真空隔离，以及束线真空系统与大气环境的隔离。CF40、CF63、CF100等。

862

2025年7月

真空规计

用作10条光束及实验站真空系统的压强测量及真空联锁。检测范围1E-11mbar。

255

2025年7月

探测器

计划用于合肥先进光源项目原位中能X射线吸收/发射实验站的建设。其中：位置灵敏探测器，数量为1台，探测4000 eV以上的荧光信号，像素小于 200*200 μm2，探测区域面积大于30*20 μm2，全能区量子效率QE>80%；韧X射线位置灵敏探测器，数量为1台，探测2000-4000 eV的荧光信号，像素小于 100*100 μm2，全能区量子效率QE>80%。

165

2025年7月

硅漂移固体探测器

计划用于合肥先进光源项目原位中能X射线吸收/发射实验站的建设。硅漂移固体探测器，探测荧光信号，总准直区域（有效探测面积）超过200 mm2（50 mm2 × 4 elements）；检测浓度低于100 ppm。

150

2025年7月

精密运动机构

计划用于合肥先进光源项目原位中能X射线吸收/发射实验站的建设。球面弯晶运动机构1套，适配大气环境，用于球面弯晶采谱运动调节。探测器运动机构1套，适配大气环境，用于探测器采谱运动调节。多维样品台1套，适配大气环境，用于样品台采谱运动调节。Von Hamos光谱仪运动机构1套，适配10-2 mbar真空环境。

220

2025年7月

超高真空高动能电子能量分析器

计划用于合肥先进光源项目中能光电子能谱实验站的建设。拟采购超高真空高动能电子能量分析器，用来开展高分辨的光电子能谱测试。能量分辨率5 meV。

300

2025年5月

近常压高动能电子能量分析器

计划用于合肥先进光源项目原位中能近常压光电子能谱实验站的建设。拟采购一台近常压电子能量分析器，结合同步辐射光源实现近常压氛围下的光电子能谱测量，提供材料电子结构和化学环境的精细解析。适用于25 mbar样品工作环境，能量分辨率优于5 meV。

320

2025年5月

能量和自旋分析器

包括能量分析器2台、自旋探测器1台。计划用于合肥先进光源微纳器件工况电子态表征线站的SX-ARPES实验站，实现对样品的电子结构的测量，对应的入射光子能量为40-1000eV，能量分辨率优于10meV @ 100eV。

928

2025年5月

超高真空磁屏蔽腔体

计划用于合肥先进光源微纳器件工况电子态表征线站的SX-ARPES实验站，ZP-ARPES实验站以及KB-ARPES实验站,装配能量分析器，实现对样品的电子结构的测量，采用双层Mu金属屏蔽，在普通地磁场环境下，保证空腔体测量位置的剩磁< 0.1 μT。

223

2025年5月

非接触轮廓仪

采购1台非接触轮廓仪，用于对平面和非平面基底面形误差检测。

830

2025年6月

点衍射干涉仪

采购1台点衍射干涉仪，用于对柱面、非球面等曲面反射镜的波面误差检测。

300

2025年6月

超精密铣磨中心

采购1台超精密铣磨设备，减少同步辐射光栅基底在铣磨阶段的中频误差, 提升基底光滑度。

1800

2025年6月

低缺陷薄膜沉积系统

采购1台脉冲激光沉积系统，用于同步辐射光学元件镀膜。

750

2025年9月

压电陶瓷高精度样品扫描台

包含三个独立的位移系统（分别支持样品台、ZP和OSA的精准定位）。其中x/y位移需要3台，总行程±12.5 mm控制精度：0.2 μm； z位移需要3台，总行程500 mm以上（取决于系统设计）控制精度0.2 μm；极角θ1需要1台，通过差分抽气旋转平台实现，旋转范围：±180°，控制精度：<0.1°（马达控制）；5.面内极角θ2需要1台，旋转范围：±180°，控制精度：<0.1°（手动或马达控制）。整体设备需要满足高于1×10^-10 Torr超高真空和5K的低温兼容性，最高烘烤温度120 ℃，典型冷却时间小于2小时，样品架中所有材料均为无磁材料，样品台核心区域采用多种无磁、耐低温材料，确保极低温下的高热导及机械传动。

184

2025年5月

BL10相干性及波前检测设备

完成HALF新光源项目测试束线相干性表征以及波前检测的任务。主要组成部分有：热负载斩波器、白光光阑、谐波抑制镜及镜箱、束线诊断用荧光探测器、粉光狭缝、测试镜箱、相干性及波前检测仪器等。

750

BL10在线热诊断及测试系统

完成HALF新光源项目测试束线热诊断与热管理实验研究,主要组成部分包括：光学元件热载功率测量装置、标准黑体、热管理测试镜箱机械真空系统、光子吸收器装置等。

287

高精度反射镜I

满足HALF光束线光的传输和聚焦要求，面形误差优于200 nrad，具体值设计确定，保证光束品质。

620

2025年5月

高精度反射镜II

满足HALF光束线光的传输和聚焦要求，面形误差优于200 nrad，具体值设计确定，保证光束品质。

630

2025年7月

高精度光栅

光栅是光束线单色器的重要元件，作用是提供高单色性光束并调节出射能量。本次采购共2件。200mm×40mm×50mm，弧矢/子午面形1/0.1μrad。

290

2025年7月