摘要：10月份，国内刻蚀设备采购活跃，涵盖TSV、激光、反应离子、ICP等多种刻蚀工艺，高校及科研机构主导，国产设备商表现亮眼。

据公开信息显示，2025年10月，国内刻蚀设备采购市场活跃，多所高校及科研机构密集完成设备招标，涵盖TSV、激光、反应离子、ICP等多种刻蚀工艺。

本月采购主体以高等院校与科研机构为主，覆盖集成电路、物联网、特种设备等多个前沿科研领域。其中，空天信息大学（筹） 采购的“TSV刻蚀及沉积设备”由上海银雀电子科技发展有限公司中标，中标金额2026万元，体现出该校正积极布局相关的芯片制造能力建设。

在设备类型方面，高端科研需求推动特种工艺设备采购。中国科学院上海微系统与信息技术研究所采购的“高深宽比刻蚀单元”金额达1198.1万元，为非标定制产品，显示出前沿科研对特殊工艺的迫切需求。此外，北京科技大学采购的“8英寸超高真空原位刻蚀/蒸发镀膜系统”由Syskey提供，体现出材料科学研究对高真空与原位处理能力的重视。

从供应商角度看，国产设备商表现亮眼。北方华创作为国内半导体设备龙头企业，本月接连中标西安交通大学“等离子体刻蚀机”、福州大学“高密度电感耦合等离子体刻蚀机”与浙江大学“等离子刻蚀工艺分析试验台”项目，体现出其在高校科研市场的持续渗透力。此外，杭州浙河、中科聚微、山东创世威纳、北京芯微诺达、江苏鲁汶等国内设备商也均有斩获，显示出国产刻蚀设备在多工艺领域已形成一定竞争力。

总体来看，2025年10月的刻蚀机采购市场呈现出“科研引领、国产崛起”的态势。随着我国在集成电路、量子计算、物联网等前沿领域的持续投入，预计高端刻蚀设备的市场需求将保持稳定增长，为国内设备厂商带来新一轮发展机遇。