采购

项目

需求概况

预算

万元

采购

时间

EUV光源腔环境控制与流动测试平台

1. 等离子发生器：等离子体发生器功率要求0~300W连续可调，需内置质量流量控制器；真空度<0.1 Pa；等离子体密度：10？-101？cm？3；可以处理O？、N？、Ar、H？等气体成份；反应腔内径大于300 mm，高度150 mm；需要有过压、过流、过热保护；2. 质谱分析仪：质谱分析范围1-300 amu，分辨率>50 at 10% peak height；灵敏度大于1×10？1？ A/mbar; 扫描速度>20 amu/s; 采样速率<1 ms; 背景噪音<10？1？ A。

198

2025年7月

实时单细胞类器官多模式分析仪

1.成像系统:可进行明场、相差、荧光观察以及彩色明场成像；2.具有至少4位电动物镜转盘，包含4-100x；3.透射光光源需满足：具有LED高能固态冷光源，使用寿命不低于5万个小时；4.配置DAPI、GFP和RFP通道，并可支持不少于23种荧光通道供选配；5.活细胞模块可控温度范围需满足：室温至 40℃ (+/- 0.1℃)；6.交货期：签约后60个工作日内；7.质保期：1年，非人为因素故障1年内免费服务，内部零部件故障1年内免费更换（易损易耗件除外），质保期后终身维护，故障维修只收取成本费用。

100

2025年7月

低空飞行器平台

该系统须实现低空无人机在城市安防、应急救援、电力巡检维护等低空经济领域应用开发，可为无人机平台在非结构化环境下作业、定位导航、路径规划、自主作业决策等算法、无人机集群控制、自主感知、智能决策开发提供实验验证，可提供虚实环境协同仿真模拟和数字孪生开发平台。系统涵盖无人机平台、无人机移动机场平台、虚实环境和数字孪生模拟平台、协同感知模块、交互模块，支持多样化应用集成。

228

2025年7月

面向智能感知应用的多功能石英棒焊接仪器

针对面向智能感知应用的多功能石英棒焊接仪器，为了高灵敏、高稳定的实现智能实时多向、多参量的感知光纤的制备，需要满足以下采购技术参数：1. 预制棒夹持：60 mm以下， 导轨直线度：全长范围≤0.06mm， 导轨平面度: 全长范围≤0.04mm， 主轴径向跳动: ≤0.03mm， 主轴轴向窜动: ≤0.03mm， 两床头主轴中心对导轨的平行度:上母线 0.04/300mm; 侧母线0.02/300mm， 两床头主轴的同轴度：上母线 0.04/300mm; 侧母线0.02/300mm， 两主轴旋转同步度：角位移≤15分， 两卡盘径向跳动(远端 75mm 处测量)：≤0.02mm； 2. 全自动控制：可以； 3. 单侧延伸：可以； 4. 加热灯头：火焰接棒及抛光； 5. 大号预制棒的切割：可以。

118

2025年7月

电池绝热量热仪

用于开展电池在绝热条件下热过程的试验研究，分析电池热行为和热失控过程及产气，发展提升电池安全性的新技术。设备总体由绝热量热仪测量系统、过充放测试仪器、在线质谱尾气测试系统、在线传感器尾气测试系统组成。

110

2025年7月

光刻机关键零部件磁流变抛光控制系统和工艺软件

1、可控轴数：不少于6个轴，支持不少于5轴联动；2、重复定位精度：≤1μm； 3、运动直线度：≤5μm/400 mm； 4、摆轴A，工件旋转轴C重复定位精度：≤10”； 5、路径规划：支持样条拟合，路径平滑度控制在0.1mm以内； 6、高精度插补：支持高精度插补算法，插补精度控制在1μm以内； 7、动态性能：支持动态启停，振动幅值控制在1μm以内； 8、加工曲面：支持多种不同曲面加工，路径规划平滑度控制在0.1mm以内。

298

2025年7月

通风柜及气体系统

本项目需采购实验室通风柜及气体系统一批：(1)通风柜一及相关配置：18台，规格为1500mm(W)*850mm(D)*2350mm(H)； (2)通风柜二及相关配置：85台，规格为1800mm(W)*850mm(D)*2350mm(H)； (3)气体系统一套，包括气体汇流排、低压不锈钢管、不锈钢球阀、气体报警器、压缩空气终端、压力表等若干,数量尺寸目前依靠设计图纸计算，实际以最终交付为准进行微调，不额外付费； (4)3年质保期。

422

2025年7月

原子级表面粗糙度和应力仪

拟采购一台原子级表面粗糙度和应力仪，要求分辨率达亚纳米级或原子级，兼具表面形貌和应力/应变测量功能，适用于光刻机镜片、半导体晶圆及超精密光学元件的在线与离线检测，可识别微观缺陷与残余应力，支持工艺优化与质量控制。

292

2025年7月

无人飞行平台集成系统及配套模块

本项目需根据指标要求定制研发中型多旋翼无人机平台、小型多旋翼无人机平台，采购数量分别为5套和10套，同时针对两无人机平台定制开发飞控系统，并且无人飞行平台地面监控模块也需定制，对应无人机电池需进行BMS系统开发，同时对任务载荷，根据项目要求，进行轻量化选型，所有产品都需要3年质保，后期需配合项目进行为期半年的现场开发、调试。

310

2025年7月

光阻膜层检测设备

需要采购一套光阻膜层检测设备，主要技术参数包括：1）标准工作模式：至少9种操作模式；2）扫描器：X,Y,Z三轴分离式闭环扫描器，扫描范围 ：50×50×17μm，XY横向分辨率≤0.2nm，Z纵向分辨率≤0.035nm；3）光谱范围；≥190-900nm；4）单点测量时间：＜15秒。

160

2025年7月

大功率桌面级EUV光源

极紫外光功率：＞10W/2pi sr （B.W.±1%）腔体压力：1-100Pa可调 放电电流：＞10kA， 放电电流脉宽：＜200ns； 放电频率：0-2kHz可调 放电腔体等效电感：＜20nH， 电极寿命：＞100万次(可更换)。

153

2025年8月

高压氢气吸附/脱附-气体成分定量分析综合测量仪

高压氢气吸附/脱附-气体成分定量分析综合测量仪，1套。用于测定镁基储氢材料在纯氢及含杂质氢气中的吸放氢热/动力学性能与循环稳定性，实时检测材料释氢纯度及杂质气体（N2、CO2、CO、Ar、CH4等）的浓度，分析杂质的毒化效应。支持0-15 MPa高压环境测试，测试温度达-200~400℃。从样品室表征、材料预处理（活化）到吸放氢性能及循环稳定性测试，全流程由软件自动化控制；测试过程中可实时同步显示数据，精准检测储氢材料释氢后的H2纯度及杂质气体（N2、CO2、CO、Ar、CH4等）含量，检测精度达 ppb 级别。供货周期合同签订后3个月，质保2年。

140

2025年11月

透射电镜原位压缩杆

透射电镜原位压缩样品杆，1套。用于测量辐照损伤样品的辐照区域（几微米级）的力学性能。最大加载力不小于1.5mN，加载位移不小于3μm。供货周期合同签订后5个月，质保1年。

150

2025年10月

无损宽频高速飞秒热物性测试系统（TDTR）

无损宽频高速飞秒热物性分析系统（TDTR），1套。采购标的需实现的主要功能和需满足的质量要求：基于飞秒激光时域热反射技术，实现纳米薄膜、多层复合结构材料的热导率、界面热阻等关键参数的非接触式无损检测。服务要求：供货周期合同签订后5个月内完成交付安装（含调试校准），提供2年核心部件质保（激光器、光学调制器等），48小时故障响应服务。

210

2025年9月

氮气稳压水化学腐蚀测试系统

氮气稳压水化学腐蚀测试系统，1套，用于核电关键部件用含氮含氧等条件腐蚀试验，最大工作流量:12L/h，最大工作压力:30MPa，水箱蓄水容积:40L，pH 值范圈:0~14pH，测量精度:±0.1pH，供货周期合同签订后2个月，质保2年。

160

2025年9月

高通量材料沉积系统

高通量材料沉积系统，1套。采购标的需实现的主要功能和需满足的质量要求：实现片材和棒材表面的高精度薄膜沉积，系统需配备一套阳极层离子束源支持能量可调，配置2-5套磁控溅射阴极， 配置2-4套金属电弧专用阴极模块，并兼容相当于2-5英寸靶材的高效溅射需求，不同模块间支持协同工作。满负荷运行72小时膜厚均匀性偏差≤±5%。服务要求：供货周期合同签订后5个月（含安装调试），提供2年整机质保（含离子源阴极靶材耗材除外），48小时内应急响应服务。

260

2025年9月

宏观样品晶体缺陷定量定性成像与晶体学分析模块

宏观样品晶体缺陷定量定性成像与晶体学分析模块，一套。宏观样品晶体缺陷定量定性成像与晶体学分析模块建成后，将实现对大尺寸合金及功能材料样品中晶体缺陷的高分辨率成像与精确分析。该模块集成先进的电子背散射衍射（EBSD）表征技术，能够定性识别晶界、孪晶、位错、裂纹等缺陷类型，并通过定量分析获得缺陷密度、取向关系及应变分布等关键信息。结合晶体学定向数据，模块支持晶粒取向图绘制、织构分析及缺陷演化机理研究，助力揭示材料性能与微观结构之间的内在联系。该系统适用于材料设计、加工工艺优化及服役失效分析，为提升材料强度、韧性及疲劳寿命提供科学依据，推动高性能材料的研发和工程应用。供货周期为合同签订后3个月，质保2年。

100

2025年9月

材料设计及粉末制备系统

材料设计及粉末制备系统，一套。材料设计及粉末制备系统建成后，将实现从材料组分设计、配比优化到高品质粉末制备的全流程集成与精确控制。系统集成计算模拟辅助设计平台和先进的粉末制备技术（如气雾化、喷雾干燥、机械合金化等），能够根据目标性能快速筛选和优化合金成分，制备粒径均匀、形貌规则、成分稳定的金属及合金粉末。该系统支持多种材料类型，包括高温合金、功能材料和复合粉末，满足增材制造、粉末冶金和材料改性等多样化需求。通过精细调控制备参数和实时质量监控，显著提升粉末的一致性和性能稳定性，为新材料研发和产业化应用提供坚实的基础支撑，推动材料设计的智能化与粉末生产的标准化。供货周期为合同签订后3个月，质保3年。

190

2025年9月

全流程气氛控制非平衡制备系统

全流程气氛控制非平衡制备系统，1套。用于高性能纳米氧化物弥散强化合金制备。全系统氧含量<50ppm，合金处理腔体>100L，真空兼容度优于10-3Pa，供货周期合同签订后3个月，质保2年。

250

2025年9月

原位辐照透射电镜原位杆

原位辐照透射电镜原位杆，一套。原位辐照透射电镜原位杆作为系统中实现多物理场加载与离子辐照耦合实验的关键部件，其建成与配套使用将显著拓展透射电镜平台的实验边界。通过该设备，科研人员可在高空间分辨率下实时观察材料在辐照条件下的微观结构演化过程，包括缺陷的产生、演变与相互作用机制。结合加热、电场、低温或气氛控制等多种加载能力，原位杆将使材料在复杂服役环境中的行为得以真实再现，实现辐照与热、应力、电场等因素的耦合效应研究。该设备可应用于研究金属合金中气泡/空洞的形成与迁移、半导体材料中辐照诱导的电性能退化、二维材料在气氛与辐照协同作用下的稳定性变化等前沿问题，为揭示材料在极端环境下的服役机制提供强有力的实验支撑。同时，该原位杆的精密控制与实时成像能力将有助于构建材料辐照响应数据库，支持多尺度模拟验证与先进材料设计，是实现材料性能预测与调控的重要实验基础。供货周期为合同签订后3个月，质保3年。

162

2025年9月

多功能合金样品制备系统

多功能合金样品制备系统，一套。多功能合金样品制备系统建成后，将实现合金材料从原始块材到高质量科研样品的全流程精准制备。系统支持多种合金类型，包括高温合金、轻合金、耐蚀合金及功能合金。通过精准控制制备流程，显著提高样品制备效率和重复性，为材料微观结构与性能研究提供可靠基础，推动合金材料研发和质量控制的科学化与标准化。供货周期为合同签订后3个月，质保2年。

161

2025年9月

多离子束加速器多场耦合原位分析系统

多离子束加速器多场耦合原位分析系统，一套。多离子束加速器多场耦合原位分析系统建成后，将实现复杂辐照与多物理场交互作用下材料行为的可控加载、实时观测和机制解析。该系统可模拟核能极端环境中材料所承受的复合离子辐照（如氢、氦、重离子等），并结合高温、低温、电场、气氛、机械应力等多种物理场，实现材料在真实服役条件下的原位动态测试。系统将支持复合离子辐照效应研究，揭示多种粒子联合作用对缺陷演化、气泡聚集和相变行为的影响；解析多场耦合作用机制，研究热、电、力等外场共同作用下材料的稳定性变化；并通过原位结构与性能关联分析，建立微观缺陷演化与宏观性能退化之间的联系。此外，系统还将为构建材料辐照响应数据库、建立演化模型与服役寿命预测体系提供基础支撑，服务于高端材料设计优化与极端环境服役行为研究，助力核能与半导体等战略领域的科技创新与自主可控。供货周期为合同签订后3个月，质保3年。

1300

2025年9月

核材料原位精密加工与表征系统

核材料原位精密加工与表征系统，一套。核材料原位精密加工与表征系统建成后，预计将显著提升在辐照损伤或复杂形貌核材料上的微纳尺度操作与原位多尺度分析能力。该系统将集成聚焦离子束、扫描电子显微镜、微机械加工、原位力学测试以及多物理场环境控制等多种功能模块，构建一体化的“制备—加工—加载—表征”平台。通过该系统，科研人员可对辐照试样等实现高精度的样品制备与截面加工，开展微区成分、结构、力学、电学等原位综合表征。特别是在高温、低温、电场等模拟工况下，可实现裂纹萌生、缺陷演化、力学失效等过程的可控加载与动态追踪，揭示核材料在服役环境下的微观响应机制。该系统还将支持辐照后材料的无损精密处理与再分析，为先进核燃料包壳、结构材料和裂变/聚变环境下材料的安全性评价、服役寿命预测与微观设计提供关键支撑，对推动核能材料基础研究和工程应用具有重要意义。供货周期为合同签订后3个月，质保2年。

600

2025年9月

原位辐照透射电镜系统

原位辐照透射电镜系统，一套。该系统是一种集高分辨成像、离子束辐照与多物理场原位加载于一体的先进材料表征平台。该设备建成后，将实现材料在受控辐照环境下的原子/纳米尺度实时观察，能够清晰捕捉位错、空位、气泡等辐照诱导结构缺陷的动态演化过程，揭示微观结构变化与宏观性能退化之间的内在联系。在多物理场耦合（如温度、电场、气氛）条件下，可开展热-辐照、电-辐照等复杂工况下的机制研究，特别适用于核能、航天、半导体等领域的新型功能材料。该系统还可用于辐照敏感材料的稳定性分析与结构调控，为耐辐照材料的设计提供关键支撑。同时，系统配套快速评估与分析能力，有助于建立材料辐照响应数据库和演化模型，推动跨尺度材料性能预测研究。供货周期为合同签订后3个月，质保3年。

1100

2025年9月

核电材料微纳加工表征及微观力学行为测试平台

核电材料微纳加工表征及微观力学行为测试平台，1套。用于核电材料的微观力学样品制备与力学性能研究，最高成像分辨率0.9nm，最高载荷分辨率≤3nN，实现纳米压痕、拉伸、微柱压缩、微球压缩、悬臂弯 曲、断裂、疲劳、动态测试和力学性能成像。供货周期合同签订后8个月，质保2年。

590

2025年11月

液态金属超声多普勒流速测量系统

液态金属超声多普勒流速测量系统，1套。用于测量电磁连铸/核电材料管道液态金属流速。流速测量范围为±2m/s，测量分辨率最大为0.5mm/s，供货周期合同签订后2个月，质保1年。

132

2025年9月

辐射探测光电综合性能测试系统

辐射探测光电综合性能测试系统，1套。用于闪烁体和半导体等辐射材料在极端温度条件下的辐射物理特性研究。温度范围：液氮温度-500K，增益大于 100000，电子学系统能量分辨率优于0.5%（用HPGe探头测662keV射线）。供货周期：合同签订收到预付款后6个月，质保1年。

110

2025年10月

高性能铜材高压热成型设备

高性能铜材高压热成型设备，1套。采用超高压热等静压与多向梯度动态加载技术，结合智能温控及真空保护，攻克核电用关键ODS铜材纳米颗粒偏聚、界面弱结合等难题。通过电磁弥散调控与热-力耦合优化，实现颗粒均匀分布及界面强化，满足四代核堆高热部件极端需求。设计压力200MPa，加热炉材质钼镧合金，最大工作温度1400℃，最大工件高度300mm，最大工件直径200mm，最大装载重量50kg，真空环境加热温度1000℃，炉温均匀性±7℃，供货周期合同签订后12个月，质保2年。

500

2025年9月

智能化高通量表征系统

智能化高通量表征系统，1套。该系统需实现增材制造试样的表面形貌测试、高通量冲击性能测试、高通量常温力学性能测试分析、以及高通量的高温力学性能测试；系统能够根据试验材料种类、尺寸自动推荐和设定表面形貌、高通量拉伸、以及冲击测试的参数；能够容纳15个以上的测试样品，一次能够对5个以上打印试样的常温力学性能实现批量检测，能够实现300-1200℃的高温力学性能测试，检测结果能够实时分析与回传；能够通过机械臂实现系统内的样品转移与自动实验，机械臂负载大于3Kg，重复定位精度±0.02mm，夹爪采用双面夹爪，行程不小于18mm，具有取样/放样过程视觉智能监控，干涉碰撞预警功能。供货周期为合同签订后8个月，质保3年。

2025年9月

自主材料实验室用机器人自动化系统

自主材料实验室用机器人自动化系统，1套。该系统可通过复合协作机器人实现样品的识别、取放、运输，并包含作业管理、调度、监控。该系统可与自主实验室的材料实验设备进行远程双向通讯，实现实验设备参数设置、工序设置、作业排期、调度、执行和状态监控等。可结合人工智能材料设计算法实现自主自驱智能材料实验。该系统集成了多台复合式AGV机械手（含视觉识别系统）、管理操作系统和数字孪生系统等硬件和软件子系统。协作机器人最大负载≥10Kg，重复定位精度≤±0.05mm；AGV停车位置精度≤±5mm；视觉识别定位系统的相机像素500万以上；系统通讯延迟≤30ms。供货周期为合同签订后2个月，质保3年。

220

2025年9月

智能化高通量增材制造系统

智能化高通量增材制造系统，1套。该系统需实现金属材料样件的全流程自动操作，包括：自动装粉、自主打印、打印后自动清理粉末并取出部件；打印过程中铺粉状态的实时监控、打印过程中打印部位表面的可视化检测及熔池温度的可视化实时监测；打印全流程受人工智能体的全流程双向数据交换并可受到人工智能体的指挥和调度；单次打印不少于100个样品；连续自动稳定运行不少于300小时。供货周期为合同签订后3个月，质保3年。

1200

2025年9月

吨级气保磁控电渣炉系统

吨级气保磁控电渣炉系统，1套。用于核电关键部件用特殊钢、高温合金的高洁净、高均质超常冶金制备。主体形式为单龙门式旋转炉头、单熔位、单电极、结晶器固定且可更换、密闭惰性气氛保护、全同轴大电流馈电短网、50HZ 单相供电、恒熔速全智能化控制。变压容量分别为 630KVA供货周期合同签订后6个月，质保两年。

490

2025年9月