腾讯公司申请光刻掩膜的更新方法专利,能够生成高质量、低复杂度的掩膜图

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金融界2023年12月22日消息,据国家知识产权局公告,腾讯科技(深圳)有限公司申请一项名为“光刻掩膜的更新方法、装置、设备及存储介质“,公开号CN117272919A,申请日期为2022年6月。

专利摘要显示,本申请实施例提供了一种光刻掩膜的更新方法、装置、设备及存储介质,涉及芯片技术领域。所述方法包括:获取目标芯片版图对应的掩膜图的参数指标,参数指标用于指示掩膜图的成像质量和复杂度;根据目标芯片版图的修正边缘放置误差和参数指标,确定修正边缘放置误差损失函数;其中,修正边缘放置误差用于矫正基于掩膜图生成的晶圆成像图案;根据修正边缘放置误差损失函数,确定用于对掩膜图进行更新的损失函数;根据损失函数,对掩膜图进行更新。本申请能够生成高质量、低复杂度的掩膜图,且相比于OPC算法,能够明显缩短优化时间。